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J-GLOBAL ID：201402218580644012   整理番号：14A0223730

プラズマイオン注入法によるナノカーボン粒子膜の形成とトライボロジー特性評価

著者 (5件)： 澤井周 (東大 工) ,  中原優也 (東大 工) ,  松本直浩 (東大 工) ,  CHOI Junho (東大 工) ,  加藤孝久 (東大 工)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
巻： 2013  号： 春  ページ： ROMBUNNO.E21  発行年： 2013年05月10日 
JST資料番号： Y0047C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： クラスタ分子 ,  ナノ構造 ,  粒子 ,  炭素 ,  *膜 ,  ナノ粒子 ,  *イオン注入 ,  *トライボロジー ,  キャラクタリゼーション ,  薄膜 ,  銀 ,  ウエハ【IC】 ,  ナノカーボン ,  *粒子膜 ,  *トライボロジー特性 ,  銀薄膜 ,  炭素粒子 ,  薄膜形成 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： カーボン粒子 ,  成膜 ,  *プラズマイオン注入法 ,  シリコン基板

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマイオン注入法 ,  ナノカーボン ,  粒子膜 ,  トライボロジー特性 ,  評価