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J-GLOBAL ID：201402220044563896   整理番号：14A0536539

集束イオンビーム(FIB)を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性(第2報)-熱処理による照射影響層の除去と加工性評価-

著者 (5件)： 川堰宣隆 (富山県工技セ) ,  尾崎一馬 (富山大) ,  森田昇 (千葉大 大学院) ,  西村一仁 (高知FEL) ,  笹岡秀紀 (高知FEL)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.L12  発行年： 2014年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では集束イオンビーム加工を応用して,微細な切れ刃形状を有する超精密切削加工用工具の開発について検討している。集束イオンビーム加工したダイヤモンドをエッチング処理することで,加工によって形成された変質層を除去することが可能であった。本手法を適用したダイヤモンド工具を用いて加工実験を行った結果,提案する手法により加工特性を大きく改善できることを明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： 集束イオンビーム ,  *切削工具 ,  ダイヤモンド工具 ,  *切削性 ,  性能評価 ,  熱処理 ,  エッチング ,  切削試験 ,  *イオン照射 ,  加工変質層 ,  単結晶ダイヤモンド工具 ,  *超精密切削工具
準シソーラス用語： *イオンビーム照射

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (11件)： 集束イオンビーム ,  FIB ,  応用 ,  ダイヤモンド ,  切削工具 ,  作製 ,  切削 ,  加工特性 ,  熱処理 ,  加工性 ,  評価