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J-GLOBAL ID：201402222169467433   整理番号：14A0293133

ダイヤモンド状炭素膜の歴史 最初の実験から世界的な応用

History of diamond-like carbon films - From first experiments to worldwide applications

著者 (2件)： BEWILOGUA Klaus (Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU) ,  HOFMANN Dieter (AMG Coating Technologies, Hanau, DEU)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 242  ページ： 214-225  発行年： 2014年03月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜には,高い硬度,低い摩擦係数及び化学的な不活性さ等のいくつもの優れた特性が組み合わされている。DLC被覆材はさらに,水素化非晶質炭素(a-C:H,ta-C:H)と水素フリー非晶質炭素(a-C,ta-C)の2つの主要グループに分けることができる。金属のような他の元素を添加する(a-C:H:Me),あるいはシリコン,酸素,フッ素あるいはその他の非金属元素を添加する(a-C:H:X)ことにより,用途の要求に応じて特性を幾つか変更して調整することが出来る。硬い非晶質炭素膜の最初の報告は1950年代に出版され,約20年後に世界中でDLC関する活発な研究活動が始まった。続く時代に,出版物数は連続的に増加し,産業用の用途における重要性はますます明らかになった。a-C:H,ta-C,金属含有a-C:H:Me及び非金属含有a-C:H:X被膜を調製するために幾つもの成長手法が適用された。並行して,DLC被膜の構造及び成長機構が広範に研究された。幅広い産業応用にとっての本質的な障害は,層間剥離を引き起こし膜厚を制限する,a-C:H膜中の大きな圧縮応力レベルであった。金属基の中間層システムを使うことでほとんどの接着に関する問題は十分に解決することができたために,1990年代半ばから特に自動車産業における広範な応用のための前提条件が与えられた。変性a-C:H:X及びa-C:X被膜を用いることでかなりの摩擦低減や表面エネルギー調節が達成できた。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *化学史 ,  *利用 ,  全球規模 ,  炭素材 ,  ドーパント ,  微細構造 ,  機構 ,  層間剥離 ,  圧縮応力 ,  アモルファスカーボン
準シソーラス用語： 成長機構 ,  地球規模 ,  非晶質炭素

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド状炭素 ,  歴史 ,  実験 ,  世界 ,  応用