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J-GLOBAL ID：201402222220607989   整理番号：14A0483733

Zn-In-Sn-O透明導電膜の試作と混合液晶分子の配向応答

著者 (5件)： 熊谷晃一 (仙台高専) ,  挟間徹 (仙台高専) ,  佐藤純平 (仙台高専) ,  笹野優寿 (仙台高専) ,  吉田むつみ (仙台高専)
資料名： 仙台高等専門学校名取キャンパス研究紀要  (Research Reports. Sendai National College of Technology, Natori Campus)
号： 50  ページ： 5-9  発行年： 2014年03月 
JST資料番号： S0918A  ISSN： 0286-3707  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液晶ディスプレイの透明導電膜では,希少金属であるInを含むITO薄膜が広く用いられている。本稿では,Inの使用量削減を目指して,ITOとZnOを用いたZn-In-Sn-O(ZITO)透明導電膜を試作して特性を評価するとともに,ねじれネマチック(TN)液晶を組み立てて配向応答を測定した。試作では,石英基板上に,ボンディングされたITOとZnOをターゲット材料としてスパッタリング装置によって堆積させた。また,液晶の組み立てでは,材料とした2種類の液晶の分子が等方相となる温度で撹拌して混合したことなどを述べた。ZITOの特性としては,1)石英基板上でZnが均一に分散し,2)室温下でも可視光領域の平均透過率と抵抗率がITOに比べて改善され,また,液晶の配向応答に関しては,1)組み立てた複数TN液晶セルのすべてで,配向応答がなされ,2)配向応答時間は市販のTN LCDと同レベルであった,などの知見を得た。

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  *ネマチック相 ,  *分子配向 ,  *透明導電膜 ,  *透明電極 ,  電極材料 ,  透過率 ,  電気抵抗率 ,  マグネトロンスパッタリング ,  液晶ディスプレイ ,  ドーピング ,  亜鉛 ,  膜電極 ,  応答時間 ,  液晶配向 ,  ねじれネマチック相
準シソーラス用語： ITO電極 ,  ねじれネマチック液晶

分類 (1件)： ネマチック相  (BK03020W)

タイトルに関連する用語 (7件)： Zn ,  Sn ,  透明導電膜 ,  試作 ,  液晶分子 ,  配向 ,  応答