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J-GLOBAL ID:201402222266496294   整理番号:14A0173234

Al/TiOx/銅構造の抵抗スイッチングにおける二段階リセット

Two-Step Reset in the Resistance Switching of the Al/TiOx/Cu Structure
著者 (13件):
資料名:
巻:号: 21  ページ: 11265-11270  発行年: 2013年11月13日 
JST資料番号: W2329A  ISSN: 1944-8244  CODEN: AAMICK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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多くの酸化物及び非酸化物材料における電子抵抗スイッチングは,次世代不揮発性ランダムアクセスメモリ,及び,ニューロモルフィック計算のような他の応用のために多くの注目を集めている。ここでは,頂部Al/TiOx/底部Cu構造の抵抗スイッチング特性における二段階リセット挙動を研究した。エレクトロフォーミングとセット段階中に,Alが負にバイアスされた時,Cuと酸素空孔からなる二つのタイプの伝導フィラメント(CF)(Cu-CFおよびVO-CF)が同時に(または連続して)形成された。その後の逆バイアス極性のリセット段階では,Cu-CFは最初~0.5Vで断線し,そして,中間状態を形成した。トラップが満たされたVO-CFは,トラップが空の状態に転換した。結果として,~1Vで高抵抗状態になった。電気化学金属化セル内のマトリックス相は抵抗スイッチングに能動的な役割を果たすことができる。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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