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J-GLOBAL ID：201402223816806918   整理番号：14A0238990

合金ターゲットを用いた極端紫外域におけるレーザ生成プラズマからの発光強度の増加

著者 (3件)： 加来昌典 (宮崎大 工) ,  松浦悠太 (宮崎大 工) ,  窪寺昌一 (宮崎大 工)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 132  号： 8  ページ： 1283-1286  発行年： 2012年08月01日 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 合金ターゲットを用いた極端紫外域から真空紫外域にわたるレーザ生成プラズマ光源を開発した。X線領域でのレーザ生成プラズマにおいて,ターゲットに合金を用いることで,互いの低い不透明領域が補完され,その結果,高い不透明度が実現されて高い変換効率を達成できることが報告されている。そこで著者らも合金ターゲットを用いた極端紫外域から真空紫外域における発光特性の改善を試みている。本研究では,銅タングステン合金を用いることにより,タングステン単体と比較して,極端紫外域から真空紫外域における発光強度が1.3倍になることを明らかにした。また,この発光強度の増加には,合金を用いることによるプラズマ不透明度の改善が寄与していることも示した。

シソーラス用語： *レーザプラズマ ,  *極端紫外線 ,  タングステン合金 ,  プラズマ源 ,  透明度
準シソーラス用語： *レーザ生成プラズマ ,  プラズマ光源 ,  不透明度

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (11件)：

• ELTON, R. C. X-Ray Lasers. 1990
• NUCKOLLS, J. H. Laser compression of matter to super-high densities. Nature. 1972, 239, 5368, 139-142
• TRAIL, J. A. Compact scanning soft-x-ray microscope using a laser-produced plasma source and normal-incidence multilayer mirrors. Opt. Lett. 1989, 14, 11, 539-541
• BAKSHI, V. EUV sources for lithography. 2005
• 加来昌典. レーザー生成プラズマ極端紫外光源を用いた光脱離質量分析装置の開発. レーザー学会第394回研究会報告. 2009, RTM-09-38, 1-6

タイトルに関連する用語 (5件)： 合金 ,  ターゲット ,  極端紫外 ,  レーザ生成プラズマ ,  発光強度