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J-GLOBAL ID：201402230143062861   整理番号：14A0109962

マイロスケールの液体流センサの設計とシミュレーション解析

Design and Simulation Analysis of Microscale Fluidic Flow Sensor

著者 (5件)： Yu Juntan (Coll. of Metrological Technol. and Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Xie Dailiang (Coll. of Metrological Technol. and Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Xu Zhipeng (Coll. of Metrological Technol. and Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Liu Tiejun (Coll. of Metrological Technol. and Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Liang Xiaoyu (Coll. of Metrological Technol. and Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 26  号： 8  ページ： 1083-1087  発行年： 2013年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロ流体の正確な駆動と自動制御は,多くのセンサーとMEMSに存在し,それは,マイクロスケールの正確な流速の測定に依っている。フィードバックチャネルのない新しい流体発振器を,マイクロスケールのチューブの流速センサとして提案する。計算流体力学(CFD)法を採用して,流量線センサの測定特性を研究する。部屋の内部の流れ分配と,発振過程を,流れ場の研究により定性的に解析する。振動数周波数を,予め設定した点の圧力の変動の解析によって,種々の入口の速度の下で得て,次に,関数関係を,速度と振動周波数の間で確立する。シミュレーション結果は,マイロスケールの流体流センサが,安定に振動し,主要ジェットは柔軟に並んで切り替わる。速度と振動周波数の間の線形関係を,比較的広い測定範囲で得ることができ,そのセンサは,0.3%の相対圧力誤差,小さく低い測定限界,及び作製が容易である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *シミュレーション ,  長さ ,  フィードバック ,  計算流体力学 ,  液体流 ,  センサ ,  流体 ,  振動数 ,  流体素子
準シソーラス用語： *シミュレーション解析 ,  マイクロスケール ,  マイクロ流体 ,  振動周波数 ,  流体発振器

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 液体流 ,  設計 ,  シミュレーション解析