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J-GLOBAL ID：201402231002253619   整理番号：14A0946561

高温でのCVD-SiC中の水素同位元素の吸収/拡散係数の評価

Evaluating the hydrogen isotope absorption/diffusion coefficient of CVD-SiC at high temperature

著者 (7件)： YAMAMOTO Yasushi (Fac. of Engineering Sci., Kansai Univ., Yamate, Suita, Osaka 564-8680, JPN) ,  KARASAWA Takashi (Inst. of Advanced Energy, Kyoto Univ., Gokasho, Uji, Kyoto 611-0011, JPN) ,  MURAKAMI Yuichiro (Fac. of Engineering Sci., Kansai Univ., Yamate, Suita, Osaka 564-8680, JPN) ,  TAKEMOTO Shinichi (Fac. of Engineering Sci., Kansai Univ., Yamate, Suita, Osaka 564-8680, JPN) ,  YONETSU Daigo (Fac. of Engineering Sci., Kansai Univ., Yamate, Suita, Osaka 564-8680, JPN) ,  NOBORIO Kazuyuki (Hydrogen Isotope Res. Center, Univ. of Toyama, Gofuku, Toyama, Toyama 930-8555, JPN) ,  KONISHI Satoshi (Inst. of Advanced Energy, Kyoto Univ., Gokasho, Uji, Kyoto 611-0011, JPN)
資料名： Fusion Engineering and Design  (Fusion Engineering and Design)
巻： 89  号： 7-8  ページ： 1392-1396  発行年： 2014年10月 
JST資料番号： T0497A  ISSN： 0920-3796  CODEN： FEDEEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVD-SiC中の重水素拡散係数測定を,溶解度と拡散係数測定装置を使用して測定し,CVD-SiC中の水素同位元素のメ浸透カニズムを調査した。実験は0.1mm,1mm,および2mmの厚さを有する薄いシート試料を用い1073-1183Kで行った。厚さが異なるが同じ重量の試料からに閉じ込められたガス及び解放されたガスは同じであることが予想されるが,50%以上異なっていた。十分な時間が経過した後のリリース率がほとんど同じであり,厚さ1mmのサンプルは厚さ2mmのサンプルの表面積が2倍なので,測定値はたぶん表面の吸着されたガスの影響を受けている。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *炭化ケイ素 ,  *水素同位体 ,  吸収係数 ,  拡散係数 ,  浸透 ,  材料
準シソーラス用語： *CVD【化学蒸着】 ,  シート材

分類 (2件)： 核化学・放射化学一般  (CB10010V) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (5件)： CVD ,  SiC ,  水素同位元素 ,  拡散係数 ,  評価