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J-GLOBAL ID：201402232499444850   整理番号：14A0672383

PECST:光電子融合技術がもたらすLSI新革命 光電子集積デバイス開発(光変調器,受光器,光源実装)

著者 (4件)： 臼杵達哉 (技術研究組合 光電子融合基盤技研) ,  藤方潤一 (技術研究組合 光電子融合基盤技研) ,  石坂政茂 (技術研究組合 光電子融合基盤技研) ,  清水隆徳 (技術研究組合 光電子融合基盤技研)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 390  ページ： 63-68  発行年： 2014年06月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 「フォトニクス・エレクトロニクス融合システム基盤技術開発(PECST)」の最終目標であるシリコン光インターポーザ(データ伝送密度10Tbps/cm²を超える)を実現するため,集積化に適した技術を開発している。本文では,電気信号を光信号に変換するシリコン光変調器,光信号を電気信号に戻すゲルマニウム受光器,および半導体レーザを用いた光源実装の三つの開発チームの成果について報告した。シリコン光変調器として,側面格子型位相シフタを装荷したMach-Zehnder変調器を試作した。さらに高変調効率の高速シリコン変調器を得るため,リング共振器型変調器を開発した。ゲルマニウム(Ge)受光器としては,シリコン光導波路と高効率に光結合し,作製プロセス工程が少ないMSM接合型と,小型・高速性が期待できるpin接合型を検討した。そして,10Tb/sレベルのシリコン光インターポーザの実現には,集積光源が必要となるので,狭ピッチ多チャネルレーザダイオード(LD)アレイをシリコン細線プラットフォームに搭載した構造をもつハイブリッド集積光源を開発し,多チャネル化および高密度化の検討を進めた。

シソーラス用語： *OEIC ,  固体回路部品 ,  光変調素子 ,  光検出器 ,  半導体レーザ ,  Ge半導体検出器 ,  移相器 ,  レーザアレイ
準シソーラス用語： Mach-Zehnder光変調器 ,  インターポーザ ,  位相シフタ ,  *光電子集積回路 ,  受光器 ,  半導体レーザアレイ

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光電子 ,  融合 ,  LSI ,  集積デバイス ,  開発 ,  光変調器 ,  受光器 ,  実装