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J-GLOBAL ID：201402233145787382   整理番号：13A1903609

ZnO/ダイヤモンド/Si構造弾性表面波の特性シミュレーション

Simulation of characteristics of ZnO/diamond/Si structure surface acoustic wave

著者 (3件)： Zhou Zhenkai (Inst. of Systems Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang) ,  Wei Liming (Inst. of Systems Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang) ,  Feng Jie (Inst. of Systems Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang)
資料名： Wuli Xuebao  (Wuli Xuebao)
巻： 62  号： 10  ページ： 104601-1-104601-7  発行年： 2013年 
JST資料番号： B0628A  ISSN： 1000-3290  CODEN： WLHPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 再帰的剛性マトリックス法に基づいて,多層弾性表面波構造の有効表面誘電率モデルを確立する。このモデルによって,ZnO/Si積層構造のための位相速度の周波数分散的特性を算出する。計算結果は実験的結果に一致し,モデルの有効性と精度を検証した。その上,位相速度の決定とZnO/ダイヤモンド/Si構造の電気機械的結合係数のためにモデルも確立した。高速度と構造の高結合係数の最も良い組合せを得て,高性能で高性能の弾性表面波素子の設計に良好な参照を提供する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,  ダイヤモンド ,  ケイ素 ,  *弾性表面波 ,  シミュレーション ,  誘電率 ,  分散【dispersion】 ,  位相速度
準シソーラス用語： ZnO ,  Si ,  周波数分散

分類 (1件)： 波動論  (BA05000K)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnO ,  ダイヤモンド ,  Si ,  弾性表面波 ,  シミュレーション