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J-GLOBAL ID：201402233804432341   整理番号：14A0227023

絶縁性試料の光電子顕微鏡(PEEM)観測

Photoemission Electron Microscopy (PEEM) on Insulating Samples

著者 (1件)： 大河内拓雄 ((公財) 高輝度光科学研究センター)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 34  号： 11  ページ： 586-591 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁性試料表面の光電子顕微鏡(PEEM)の観察法を単純なAuパターン蒸発装置の導入によって確立した。表面の伝導性は,軟X線の連続照射によって絶縁性表面で局所的に誘導され,対象の面積に近接するAu膜が蓄積電荷の放出を可能にする。この技術を利用して十分でない伝導性の試料のすべてのユーザーの実験がSPring-8でのPEEM実験ステーションで成功裏に行われた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電子顕微鏡観察 ,  放出形顕微鏡 ,  *絶縁材料 ,  放射光施設 ,  フェライト ,  軟X線 ,  パターン形成 ,  金属薄膜 ,  金 ,  *絶縁体
準シソーラス用語： *光電子顕微鏡観察 ,  光電子顕微鏡 ,  SPring-8 ,  金膜

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (14件)：

• 1) T. Ohkochi, M. Kotsugi, K. Yamada, K. Kawano, K. Horiba, F. Kitajima, M. Oura, S. Shiraki, T. Hitosugi, M. Oshima, T. Ono, T. Kinoshita, T. Muro and Y. Watanabe: J. Synchrotron Rad. 20, 620 (2013).
• 2) T. Ohkochi, H. Fujiwara, M. Kotsugi, A. Tsukamoto, K. Arai, S. Isogami, A. Sekiyama, J. Yamaguchi, K. Fukushima, R. Adam, C.M. Schneider, T. Nakamura, K. Kodama, M. Tsunoda, T. Kinoshita and S. Suga: Jpn, J.Appl. Phys. 51, 073001 (2012).
• 3) M. Kotsugi, C. Mitsumata, H. Maruyama, T. Wakita, T. Taniuchi, K. Ono, M. Suzuki, N. Kawamura, N. Ishimatsu, M. Oshima, Y. Watanabe and M. Taniguchi: Appl. Phys. Express 3, 013001 (2010).
• 4) M.A. Kelly: J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 176, 5 (2010).
• 5) B. Gilbert, G. Margaritondo, S. Douglas, K.H. Nealson, R.F. Egerton, G.F. Rempfer and G. De Stasio: J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 114, 1005 (2001).

タイトルに関連する用語 (5件)： 絶縁性 ,  試料 ,  光電子顕微鏡 ,  PEEM ,  観測