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J-GLOBAL ID：201402234267681654   整理番号：14A0091270

市販の0.18μmCMOSプロセスを使って作ったヒータを持つ小型エタノールセンサ

Micro Ethanol Sensors with a Heater Fabricated Using the Commercial 0.18 μm CMOS Process

著者 (3件)： LIAO Wei-Zhen (National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN) ,  DAI Ching-Liang (National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN) ,  YANG Ming-Zhi (National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 13  号： 10  ページ： 12760-12770 (WEB ONLY)  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ヒータを持つ小型のエタノールセンサの製造と特性を調べた。このエタノールセンサは市販の0.18μmCMOSプロセスで作られ,感応膜・ヒータ・交差指電極から成る。感応膜はゾルゲル法で作った酸化亜鉛であり,交差指電極電極を被覆する。ヒータは交差指電極の下にあり,感応膜に作動温度にする。センサは後処理で犠牲酸化物層を除去し,交差指電極上の酸化亜鉛を被覆する。感応膜がエタノールガスを検出したとき,センサの抵抗が変化する。逆増幅回路を使ってセンサの抵抗変化を出力電圧に変換する。実験では,このエタノールセンサの感度は0.35mV/ppmであった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *加熱器 ,  半導体 ,  電極 ,  膜 ,  酸化亜鉛 ,  変化 ,  実験 ,  脂肪族アルコール ,  CMOS
準シソーラス用語： 交差指電極 ,  感応膜 ,  抵抗変化

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (3件)： プロセス ,  ヒータ ,  エタノールセンサ