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J-GLOBAL ID：201402234798383291   整理番号：14A0046135

ガスタイミング技術革新法により成長させた酸化タンタルバイオフォトニクス薄膜

Tantalum Oxide Bio-Photonics Thin Film grown by Gas-Timing Innovation Technique

著者 (14件)： KHEMASIRI N. (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  KHEMASIRI N. (Nanotec-KMITL Center of Excellence on Nanoelectronics Devices, Bangkok, THA) ,  PORNTHEERAPHAT S. (National Sci. and Technol. Dev. Agency, Patumthani, THA) ,  PORNTHEERAPHAT S. (Nanotec-KMITL Center of Excellence on Nanoelectronics Devices, Bangkok, THA) ,  HORPRATHUM M. (National Sci. and Technol. Dev. Agency, Patumthani, THA) ,  CHANANONNAWATHORN C. (Tammasat Univ., THA) ,  BUNJONGPRU W. (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  BUNJONGPRU W. (National Sci. and Technol. Dev. Agency, Chacheungsao, THA) ,  PHROMYOTHIN D. (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  PRATONTEP S. (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  PRATONTEP S. (Nanotec-KMITL Center of Excellence on Nanoelectronics Devices, Bangkok, THA) ,  NUKEAW J. (King Mongkut’s Inst. Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  NUKEAW J. (CHE, Bangkok, THA) ,  NUKEAW J. (Nanotec-KMITL Center of Excellence on Nanoelectronics Devices, Bangkok, THA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8883  ページ： 88830B.1-88830B.7  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい方法を用いて高屈折率材料の酸化タンタル薄膜をp型シリコン及び石英基板上に成長させた。この方法は反応性ガスタイミング(RGT)法を用いたRFマグネトロンスパッタリングである。RGT法はスパッタリング過程中に衝撃用アルゴン及び反応性酸素のプラズマを交互に周期的にオンオフして供給する方法である。RGT法は高品質の膜をもたらし,また組成変化を通じて膜の光学的性質の制御を可能にする利点を持つ。実験では,酸素周期を5秒に固定し,アルゴン周期を2,5,8秒と変えて膜生成を行った。生成した酸化タンタル薄膜はすべて平滑な特徴を持つ非晶質相であることが示された。アルゴン周期が2秒から8秒へ増大すると,薄膜の透過率は10%減少し,吸収端は赤方シフトし,屈折率は2.08から2.17へ増大した。屈折率の増大は薄膜のタンタルリッチ化によると思われる。

シソーラス用語： *酸化タンタル ,  誘電体薄膜 ,  光学材料 ,  *スパッタ蒸着 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  薄膜成長 ,  *方式 ,  *屈折率 ,  透過率 ,  吸収端 ,  *光学定数 ,  基板 ,  ウエハ【IC】 ,  結晶度 ,  化学組成 ,  紫外可視吸収スペクトル
準シソーラス用語： 高屈折率材料 ,  *RFマグネトロンスパッタリング ,  *反応性ガスタイミング法 ,  石英基板 ,  Si基板

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 技術革新 ,  成長 ,  酸化タンタル ,  バイオフォトニクス ,  薄膜