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J-GLOBAL ID：201402235670266442   整理番号：14A0084348

銀封入コロイドを含む金-金マイクロ接点の接触抵抗の変化

Contact Resistance Evolution of Au-Au Micro-Contacts with encapsulated Ag colloids

著者 (3件)： TOLER Benjamin (Air Force Inst. Technol., Ohio) ,  STILSON Christopher (Air Force Inst. Technol., Ohio) ,  COUTU Ronald, Jr. (Air Force Inst. Technol., Ohio)
資料名： Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts  (Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts)
巻： 59th  ページ： 358-365  発行年： 2013年 
JST資料番号： E0462C  ISSN： 1062-6808  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 信頼性の高いRF MEMSスイッチでの使用を意図した新しい接点材料としてAgコロイドを取り込んだスパッタ金薄膜を取り上げ,その接触抵抗の変化を観察した。最初に初期接点試験において低い接触抵抗を与える接触力を決定した後,それぞれ10⁹におよぶホットスイッチングとコールドスイッチングサイクルを加え,接触抵抗の変化を測定した。本稿では,上部半球接点と下部平面接点を保持する試験測定装置の構成を詳細に述べた。Au-Auマイクロ接点の10×10⁸サイクル後の最終抵抗値は14Ω,Au-Agマイクロ接点の8×10⁸サイクル後の値は81Ωであった。初期値は,それぞれ0.08858Ωと0.238Ωであり,サイクル途上の抵抗値の変化とその要因を解析した。

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  電気接点 ,  *接点材料 ,  金属薄膜 ,  金 ,  コロイド ,  銀 ,  スパッタ蒸着 ,  繰返し試験 ,  *接触抵抗 ,  試験装置 ,  力
準シソーラス用語： *MEMSスイッチ ,  RFスイッチ ,  ホットスイッチング ,  金薄膜 ,  銀コロイド ,  接触力

分類 (2件)： 電気接点  (NA05070V) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 銀 ,  封入 ,  コロイド ,  金 ,  接触抵抗