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J-GLOBAL ID:201402235749485620   整理番号:14A0327709

コイル状ステータ超音波モータ駆動用の水熱合成PZT多結晶膜振動子の開発

著者 (4件):
資料名:
号: 29  ページ: 13-17  発行年: 2013年12月15日 
JST資料番号: L7147A  ISSN: 1341-3805  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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医用応用を目的とした超小型超音波モータであるコイル状ステータ超音波モータ(CS-USM)の小型化,高効率化を目的とした超小型振動子開発を行った。チタン細線上に水熱合成PZT多結晶膜を成膜した振動子を作成し,CS-USMの駆動を確認した。回転速度は789~1152rpmを記録した。血管内治療に用いるデバイスへの応用を目指して更なる駆動の効率化,回転速度の上昇が必要であると結論した。
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分類 (2件):
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電動機  ,  酸化物薄膜 

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