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J-GLOBAL ID：201402236804154006   整理番号：14A0806274

MEMS製作のための特徴ベースの三次元プロセス計画

Feature-Based 3D Process Planning for MEMS Fabrication

著者 (3件)： KANAI Satoshi (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  SHIBATA Takayuki (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  KAWASHIMA Takahiro (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名： International Journal of Automation Technology  (International Journal of Automation Technology)
巻： 8  号： 3  ページ： 406-419  発行年： 2014年05月05日 
JST資料番号： L0997B  ISSN： 1881-7629  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS(微小電気機械システム)装置の市場の急速な成長により,MEMSのための計算機支援設計(CAD)および計算機支援プロセス計画(CAPP)はMEMSの設計と製造の間の労働力の適切な分割に必須である。MEMS装置のCADシステムは数台は商業的に利用可能であるが,MEMSのCAPPシステムはまだ開発段階で,わずかなシステム数しか研究されていない。本研究の目的は,非専門家のMEMS設計者のためのMEMSのCAPPシステムをプロトタイプすることである。複数の材料で作られた複雑な階層構造であるMEMS装置の幾何構造は,装置モデルと呼ばれるソリッドモデルとして表される。システムには,2つの主要な機能が有る。プロセス抽出機能では,3D製作機能を手がかりに使用して,全ての実現可能な製作プロセスを装置モデルから徹底的に引き出す。製造可能-幾何-推定機能では,オリジナルの装置モデルと異なるかもしれないが,引出されたプロセスで実際に作られる装置の予想される三次元形状が推定される。商業エミュレータを使用したプロセスエミュレーション,および専門の研究者による検査は引出されたプロセス計画および予想された装置の三次元形状は実現可能であり,もっともらしいことを確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *三次元 ,  過程 ,  *MEMS ,  製造 ,  CAD【計算機】 ,  CAPP ,  プロトタイピング ,  3Dソリッドモデル ,  形態 ,  工程計画 ,  三次元形状
準シソーラス用語： CAPPシステム ,  MEMSデバイス ,  プロトタイプ作成 ,  計算機支援設計 ,  製作 ,  *プロセス計画

分類 (2件)： 計算機システム開発  (JD02010R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (15件)：

• M. Gad-el-Hak, “Introduction (Chapter 1),” The MEMS Handbook. - MEMS Design and Fabrication (edited by M.Gad-el-Hak), Taylor & Fransis Group, pp. 1-1-1-5, 2006.
• K. Ashida, S. Nakano, J. Park, and J. Akedo, “On-Demand MEMS Device Production System by Module-based Microfactory,” Int. J. of Automation Technology, Vol.4, No.2, pp. 110-116, 2010.
• Micromachine Center, FY 2009 Reports on Research Studies, MicroNano, No.71, p. 8, 2009, http://www.mmc.or.jp/e/e-main.html [accessed Dec. 1, 2013]
• P. M. Osternberg and S. D. Senturia, “MemsBuilder: An automated 3D solid model construction program for micro-electromechanical structures,” Proc. of 8th Int. Conf. on Solid-state Sensors and Actuators and EuroSensors IX, pp. 21-24, 1995.
• H. Dixist, S. Kannapan, and D. L. Taylor, “3D geometric simulation of MEMS fabrication processes: A semantic approach,” Proc. of 4th ACM symp. on Solid Modeling and Application, pp. 376-386, 1997.

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  製作 ,  プロセス ,  計画