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J-GLOBAL ID：201402240571252441   整理番号：14A0170881

プラズマを用いた炭素材料合成の実際と産業利用における課題 2.DLC成膜プロセス研究の最前線

著者 (1件)： 上坂裕之 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 90  号： 1  ページ： 76-83  発行年： 2014年01月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC(Diamond-Like Carbon)は,特にその優れたしゅう動特性により表面コーティングとしての応用が拡大してきた。DLC成膜プロセスはプラズマ・イオンプロセスである。従来幅広く使われてきた成膜手法は,多くの良書において詳しく解説されている。本章では,そのような確立された手法への言及を必要最小限にとどめ,従来の成膜手法が現在直面している課題,およびそれらを克服しようとする最先端の取り組みやそこで開発が進む最新の成膜手法を可能な限り紹介した。(著者抄録)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  硬度 ,  *プラズマCVD ,  *物理蒸着 ,  スパッタ蒸着 ,  イオンめっき ,  滑り ,  トライボロジー ,  プラズマ生成 ,  プラズマ密度 ,  プラズマ ,  被覆 ,  表面被覆 ,  摺動 ,  マイクロ波プラズマ ,  真空アーク蒸着
準シソーラス用語： アークイオンめっき ,  表面コーティング

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  炭素材料 ,  産業利用 ,  DLC ,  成膜プロセス ,  研究