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J-GLOBAL ID:201402243972242715   整理番号:14A0562116

平板試料を用いたエネルギー適応係数計測システムの開発

著者 (5件):
資料名:
巻: 2012  ページ: ROMBUNNO.J053014  発行年: 2012年09月08日 
JST資料番号: X0587C  ISSN: 2424-2667  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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MEMS(Micro Electro Mechanical System)などに代表されるマイクロ・ナノデバイス内部や周囲の流れは気体の希薄度を示す無次元数であるクヌッセン数が大きくなる。この高クヌッセン数流れにおける熱輸送現象を理解するためには,気体分子と固体表面のエネルギー交換割合を示すエネルギー適応係数が重要となる。本研究では,過去の研究結果が不足している非金属材料に対するエネルギー適応係数の計測も可能な,平板試料を用いる計測システムの開発を行い,その妥当性を検証した。(著者抄録)
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分類 (2件):
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気体の輸送現象  ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置 

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