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J-GLOBAL ID：201402246220888569   整理番号：14A1290095

大型曲面光学素子の超精密加工における高速非接触機上測定手法

著者 (3件)： 森田晋也 (理研) ,  山形豊 (理研) ,  GUO Jiang (理研)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 58  号： 11  ページ： 705-709  発行年： 2014年11月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 長さ100mmを超える大型の高精度曲面光学素子は車載用ヘッドアップディスプレイ(HUD)光学系やX線,中性子線などの光学系の光学部品として広く用いられる。高精度加工機上で取り外すことなく計測する機上計測は迅速な高精度加工の実現にきわめて有効である。アルミなどの軟質金属である被加工物を損傷することなく高精度かつ高速に計測する非接触レーザプローブを用いた加工機上計測システムの構築について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *曲面 ,  大型 ,  *光学素子 ,  *超精密加工 ,  計測 ,  *非接触測定 ,  アルミニウム ,  軟質材料 ,  金属 ,  プローブ ,  レーザ ,  計測システム ,  レーザ応用 ,  形状測定 ,  工作機械 ,  線形性 ,  部品 ,  ヘッドアップディスプレイ ,  ビーム ,  X線 ,  中性子ビーム ,  アルミニウム合金 ,  中性子 ,  反射鏡 ,  基板 ,  電気装置部品
準シソーラス用語： X線ビーム ,  *レーザプローブ ,  *レーザ応用計測 ,  機上測定 ,  *曲面光学素子 ,  光学部品 ,  自由曲面 ,  精密加工機 ,  中性子ミラー ,  ガラス基板

分類 (3件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  切削一般  (QC02010V) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

引用文献 (8件)：

• S.MORITA, Y.YAMAGATA, M.FURUSAKA, H.ONO and S.TAKEDA: Ultraprecison cutting of neutron focusing metal mirror, Proceedings of Abrasive Technology Conference 2012 (ABTEC2012) (2012) 215 (in Japanese).
• S.TAKEDA, S.MORITA, H.ONO, Y.YAMAGATA and M.FURUSAKA: The development of a new neutron mirror with ultra precision cut NiP amorphous substrate, Proceedings of Japan Society for Precision Engineering Semestrial Meeting 2012 Autumn Conference (2012) 839 (in Japanese).
• C.W.KING: Integrated On-Machine Metrology Systems, International Symposium on Ultraprecision Engineering and Nanotechnology (ISUPEN), Japan Society for Precision Engineering Semestrial Meeting 2010 JSPE Autumn Conference (2010).
• 新藤良太: 超精密加工における機上計測とその利用技術, 型技術 28(8), (2013)46.
• R LEACH: Fundamental principles of engineering nanometrology, Elsevier Inc., Oxford, UK, (2010) 139.

タイトルに関連する用語 (7件)： 大型 ,  曲面 ,  光学素子 ,  精密加工 ,  非接触 ,  機上測定 ,  手法