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J-GLOBAL ID：201402247135642638   整理番号：14A0187269

RFスパッタ堆積ナノ結晶窒化チタン薄膜の表面/界面分析及び光学的特性

Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films

著者 (9件)： WHITE N. (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Texas at El Paso, El Paso, TX 79968, USA) ,  WHITE N. (Materials and Manufacturing Directorate (RX), Wright-Patterson Air Force Base, OH 45433, USA) ,  CAMPBELL A.l. (Materials and Manufacturing Directorate (RX), Wright-Patterson Air Force Base, OH 45433, USA) ,  GRANT J.t. (Res. Inst., Univ. of Dayton, 300 Coll. Park, Dayton, OH 45469, USA) ,  PACHTER R. (Materials and Manufacturing Directorate (RX), Wright-Patterson Air Force Base, OH 45433, USA) ,  EYINK K. (Materials and Manufacturing Directorate (RX), Wright-Patterson Air Force Base, OH 45433, USA) ,  JAKUBIAK R. (Materials and Manufacturing Directorate (RX), Wright-Patterson Air Force Base, OH 45433, USA) ,  MARTINEZ G. (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Texas at El Paso, El Paso, TX 79968, USA) ,  RAMANA C.v. (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Texas at El Paso, El Paso, TX 79968, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 292  ページ： 74-85  発行年： 2014年02月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化チタン(TiN_x)薄膜を,反応性混合ガス中の窒素含有量を広範囲に変えながらRFマグネトロンスパッタ堆積により成長させた。膜の表面及び界面形態,化学組成,及び光学的特性に及ぼす窒素ガス流量の効果を研究した。分光偏光解析は,低窒素流量で堆積した膜が,2eV以下において最高の吸収をもつことを示した。AFMは,小窒素流量の導入により,粗さが減少し,約1.5nmにおいて一定になることを示した。SEMによれば,低流量で成長させた膜は高密度柱状構造であった。XPSにより,流量の関数として,原子組成はほとんど一定であるが,化学状態は大きく変わることが分かった。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  薄膜成長 ,  ナノ結晶 ,  RFスパッタリング ,  マグネトロンスパッタリング ,  窒素 ,  *表面構造 ,  化学組成 ,  表面粗さ ,  *スパッタ蒸着 ,  *モルフォロジー ,  反応性スパッタリング ,  酸化チタン ,  偏光解析法 ,  屈折率 ,  係数 ,  *光学定数 ,  X線光電子スペクトル ,  光学材料
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  *表面モルフォロジー ,  二酸化チタン ,  消衰係数

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (7件)： RFスパッタ ,  堆積 ,  ナノ結晶 ,  窒化 ,  チタン薄膜 ,  界面分析 ,  光学的特性