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J-GLOBAL ID：201402247157630048   整理番号：14A0957349

三点曲げ試験におけるTiNコーティング膜の破壊挙動への基材処理の影響

Effect of Substrate Treatment for Fracture Behavior of TiN Film during Three-Point Bending Test

著者 (7件)： 後裕介 (兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻) ,  後裕介 (ウメトク株式会社) ,  岡井大祐 (兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻) ,  山本厚之 (兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻) ,  福嶋豊 (ウメトク株式会社) ,  谷口善一 (ウメトク株式会社) ,  松永淳 (ウメトク株式会社)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 78  号： 8  ページ： 295-302 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高い密着性を有するコーティング膜の成膜条件を求めるためには,実使用時における寿命と高い相関を示す評価法を確立する必要がある。本研究では,窒化処理を施したSKD61を用いてPVD法によりTiN膜を成膜し,曲げ試験を間歇的に行い,試料中の同一視野を観察することで,窒化処理の有無によるコーティング膜の剥離プロセスを明らかにし,コーティング膜の密着性を評価した。TiN膜と基材の界面で剥離は起こらず,膜と基板の界面強度はTiNの破壊強度よりも高いことが示された。TiN膜下に拡散層が存在する試料では,クラックはTiN膜を貫通し,膜は剥離せず基材が破断した。三点曲げ試験では,基材の延性の違いにより,クラックの基材への貫通および界面方向への進展が観察された。

シソーラス用語： *表面処理 ,  *物理蒸着 ,  蒸着膜 ,  窒化 ,  前処理 ,  *工具鋼 ,  高合金鋼 ,  中炭素合金鋼 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  *金属組織 ,  結晶構造 ,  相組成 ,  *機械的性質 ,  密着性 ,  曲げ試験 ,  剥離 ,  拡散層 ,  亀裂 ,  亀裂発生 ,  亀裂伝搬 ,  表面粗さ ,  硬化層 ,  引かき硬さ ,  電子顕微鏡観察 ,  SKD61 ,  窒化チタン ,  破壊機構 ,  走査電子顕微鏡法 ,  界面強度 ,  改変 ,  *組織 ,  *性質
準シソーラス用語： ミクロ組織【金属組織】 ,  界面強さ ,  硬度分布

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  機械的性質  (WB02030U)

引用文献 (27件)：

• 1) K. Holmberg, A. Laukkanen, He. Ronkarinen, K. Wallin and S. Varjus: Wear 254(2003) 278–291.
• 2) H. Ollendorf and D. Schneider: Surf. Coat. Technol. 113(1999) 86–102.
• 3) A. Alsaran, A. Celik and M. Karakan: Mater. Charact. 54(2005) 85–92.
• 4) E. Lugscheider, S. Barwulf and C. Barimani: Surf. Coat. Technol. 120-121(1999) 458–464.
• 5) F. Sanchette, E. Damond, M. Buvron, L. Henry, P. Jacquot, N. Randall and P. Alers: Surf. Coat. Technol. 94-95(1997) 261–267.

タイトルに関連する用語 (4件)： 三点曲げ試験 ,  TiN ,  コーティング膜 ,  破壊挙動