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J-GLOBAL ID：201402247648647007   整理番号：14A0462125

箔ターゲットを通る高エネルギー1次クラスタイオンの透過率による飛行時間2次イオン質量分析法

Time-of-flight secondary ion mass spectrometry with transmission of energetic primary cluster ions through foil targets

著者 (6件)： HIRATA K. (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi ...) ,  SAITOH Y. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN) ,  CHIBA A. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN) ,  YAMADA K. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN) ,  MATOBA S. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN) ,  NARUMI K. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 85  号： 3  ページ： 033107-033107-6  発行年： 2014年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 洗練されたイオンビームパルス化システムが要らない,情報の多い2次イオン(SI)質量スペクトルが得られる飛行時間(TOF)SI質量分析法を開発した。この新しく開発した分析法では,エネルギーがサブMeVかそれ以上のオーダの高エネルギーの大型クラスタイオンを1次イオンとして使う。それらがターゲット表面へ衝撃して高い収率でSIが発生するため,生じたSIの質量スペクトルは多数の情報を含む。また,1次イオン入射のタイミング情報を得るのに必要な開始信号は,1次イオンが透過したとき箔ターゲットの裏面から放出される粒子の検出信号によって与えられる。この配置により,良好な質量分解能のスペクトルを得る上で1次イオンを正確に制御することが必要なパルス化システムがなくても,正と負のTOF SI質量スペクトルを得ることができる。また,有機薄膜ターゲットの化学構造の特性評価に高エネルギークラスタイオン衝撃によるTOF SI質量分析法を適用し,成功した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *クラスタイオン ,  *二次イオン質量分析 ,  衝突イオン化 ,  箔 ,  分解能 ,  ポリスチレン ,  ポリメタクリル酸メチル ,  透過率 ,  分子構造 ,  *TOF-SIMS ,  化学構造
準シソーラス用語： 質量分解能 ,  PMMA

分類 (1件)： 質量分析計  (BD02060M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 箔 ,  ターゲット ,  高エネルギー ,  クラスタイオン ,  透過率 ,  飛行時間2次イオン質量分析