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J-GLOBAL ID：201402250623207496   整理番号：14A0783833

高精細AM-OLED用の高移動度自己整合トップゲート型酸化物TFT

High-mobility self-aligned top-gate oxide TFT for high-resolution AM-OLED

著者 (12件)： MOROSAWA Narihiro (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  NISHIYAMA Masanori (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  OHSHIMA Yoshihiro (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  SATO Ayumu (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  TERAI Yasuhiro (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  TOKUNAGA Kazuhiko (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  IWASAKI Junji (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  AKAMATSU Keiichi (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  KANITANI Yuya (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  TANAKA Shinji (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  ARAI Toshiaki (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  NOMOTO Kazumasa (Sony Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Journal of the Society for Information Display  (Journal of the Society for Information Display)
巻： 21  号： 10-12  ページ： 467-473  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： B0996B  ISSN： 1071-0922  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高移動度で高信頼性の自己整合トップゲート型の酸化物薄膜トランジスタを,アルミニウム反応法を用いて開発した。アニーリング後のレーザ支援原子プローブトモグラフィーによる測定から,深さ方向に関して,酸化物半導体中へのAlの拡散と酸素濃度の均質化が生じていることが確認された。このトップゲート型TFTアモルファスインジウムスズ亜鉛酸化物チャネルは,32cm²/V・sと高移動度であった。5マスクバックプレーンプロセスを用いて,対角9.9インチのqHDアクティブマトリックス有機発光ダイオード(AM-OLED)ディスプレイを作製し,このTFTが大寸法で高解像度のAM-OLEDに適することが示され。BTS試験におけるV_thシフトから,このディスプレイの寿命は5.2×10⁸sと見積もられ,AM-OLEDへのTFT応用として十分の長さであることが示された。また,このパネルは自己整合構造の寄生容量が小さいことから,優れた輝度均一性を示した。

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  *ELディスプレイ ,  半導体プロセス ,  素子構造 ,  化合物半導体 ,  酸化インジウム ,  酸化スズ ,  酸化亜鉛 ,  移動度 ,  自己整合 ,  アルミニウム ,  高分解能 ,  均一性 ,  輝度
準シソーラス用語： *AMOLEDディスプレイ ,  トップゲート型 ,  高解像度 ,  酸化物半導体

分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (7件)： Am ,  OLED ,  高移動度 ,  自己整合 ,  トップゲート型 ,  酸化物 ,  TFT