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J-GLOBAL ID：201402250951636396   整理番号：14A0227078

Ru下地層の傾斜結晶面上に成膜されたc面配向Coスパッタ薄膜の原子積層構造および一軸結晶磁気異方性

Atomic layer stacking structure and uniaxial magnetocrystalline anisotropy for c-plane oriented Co films sputtered on inclined crystal plane of Ru underlayer

著者 (7件)： 日向慎太朗 (日本学術振興会) ,  日向慎太朗 (東北大学大学院工学研究科電子工学専攻) ,  長谷川大二 (早稲田大学高等研究所) ,  木村拓也 (東北大学大学院工学研究科電子工学専攻) ,  斉藤伸 (東北大学大学院工学研究科電子工学専攻) ,  高橋研 (東北大学未来科学技術共同研究センター) ,  佐橋政司 (東北大学大学院工学研究科電子工学専攻)
資料名： Journal of the Magnetics Society of Japan  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 37  号： 6  ページ： 372-377 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 1882-2924  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,スパッタCo薄膜の原子積層構造におよぼす下地層の影響について,種々の粗さ,粒径を有するRu下地層を用いて検討した。その結果,凹凸の大きなRu下地層を用いたd_Co≦30nmの試料において,飽和トルク値の絶対値がパルス値から導出した理論値|K_u^Coバルク-2π(M_s^バルク)²|=6.8×10⁶erg/cm³を大きく下回る振幅を示すことが分かった。また,下地層の傾斜結晶面へのCoの格子整合析出が一軸結晶磁気異方性エネルギー(K_u)増大に有効であることが分かった。

シソーラス用語： *ルテニウム ,  *下層 ,  結晶方位 ,  *コバルト合金 ,  *金属薄膜 ,  積層欠陥 ,  *一軸磁気異方性 ,  *薄膜成長 ,  スパッタ蒸着 ,  *積層構造 ,  表面粗さ ,  結晶構造 ,  格子整合 ,  超薄膜 ,  結晶粒度
準シソーラス用語： 下地層 ,  c面配向 ,  Co基合金 ,  合金薄膜

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (11件)：

• 1) G. B. Mitra and N. C. Halder, Acta Cryst., 17, 817 (1964).
• 2) A. Ishikawa and R. Sinclair, IEEE. Trans. Magn., 32, 5 (1996).
• 3) T. Shimatsu, H. Sato, Y. Okazaki, H. Aoi, H. Muraoka, Y. Nakamura, S. Okamoto, and O. Kitakami, J. Appl. Phys., 99, 08G908 (2006).
• 4) P. Bruno, Phys. Rev. B, 39, 865 (1989).
• 5) S. Hinata, R. Yanagisawa, S. Saito, and M. Takahashi, J. Appl. Phys., 105, 07B718 (2009).

タイトルに関連する用語 (12件)： Ru ,  下地層 ,  結晶面 ,  成膜 ,  配向 ,  CO ,  スパッタ ,  薄膜 ,  原子 ,  積層構造 ,  一軸 ,  結晶磁気異方性