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J-GLOBAL ID：201402251362740155   整理番号：14A1280422

クリーン化技術を支える測定・分析手法最前線 通信会社グループにおける材料分析サービス 汚染分析サービスから洗浄までクリーン化トータルソリューション

著者 (1件)： 半田隆夫 (NTTアドバンステクノロジ)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 24  号： 11  ページ： 1-4  発行年： 2014年11月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： NTTアドバンステクノロジ社における,クリーン化技術を支える測定分析手法を紹介した。ウエーハ汚染分析として反射蛍光X線分析,全反射蛍光X線分析全面高速マッピング,気相分解法-誘導結合プラズマ質量分析,イオン分析(基板表面に付着したイオン成分の評価),そしてクリーン化技術を支えるその他の測定・分析手法を紹介した。クリーン化サービスとして,薬液洗浄(有機洗浄,酸洗浄),ダストサンプラー,小型超臨界乾燥装置について述べた。

シソーラス用語： 分析 ,  洗浄 ,  情報技術 ,  通信技術 ,  *超小形回路技術 ,  蛍光X線分析 ,  写像 ,  ICP-MS分析 ,  塵埃 ,  *汚染物質 ,  乾燥 ,  化学洗浄
準シソーラス用語： *材料分析 ,  情報通信技術 ,  *クリーン化技術 ,  全反射蛍光X線分析 ,  超臨界乾燥

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (12件)： クリーン化技術 ,  分析 ,  手法 ,  会社 ,  グループ ,  材料分析 ,  サービス ,  汚染 ,  洗浄 ,  クリーン化 ,  トータル ,  ソリューション