文献

J-GLOBAL ID：201402253491543512   整理番号：14A1290681

誘導自己組織化における形状調整の計算機利用研究

Computational studies of shape rectification in directed self-assembly

著者 (6件)： IWAMA Tatsuhiro (Asahi Kasei E-Materials Co., Shizuoka, JPN) ,  IWAMA Tatsuhiro (Univ. California, CA) ,  LAACHI Nabil (Univ. California, CA) ,  DELANEY Kris T. (Univ. California, CA) ,  KIM Bongkeun (Univ. California, CA) ,  FREDRICKSON Glenn H. (Univ. California, CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9049  ページ： 904927.1-904927.8  発行年： 2014年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,重複円筒型プリパターンおよび非円筒型プリパターンにおける形状調整のために,自己無矛盾場の理論(SCFT)を利用し,誘導自己組織化(DSA)における形状調整の計算機利用研究を行った。ピーナッツ形状プリパターンにおける自己組織化に関しては,f=0.3/0.35の整ブロック共重合体,ブロック共重合体およびホモ重合体の混合について論じた。交互非円筒型プリパターンにおける自己組織化については,f=0.44の整ブロック共重合体,ブロック重合体およびホモ重合体の混合について調べ,二次元PMMA密度プロファイルなどの具体的実験結果を示した。

シソーラス用語： 場の理論 ,  *リソグラフィー ,  コンタクトホール ,  修正 ,  型 ,  *ブロック共重合体 ,  *パターン形成 ,  自己組織化 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  形状修正 ,  単独重合体
準シソーラス用語： PMMA ,  *VIAリソグラフィー ,  *パターンニング ,  プリパターン ,  ホモ重合体 ,  *誘導自己組織化

分類 (3件)： X線技術  (BA02060D) ,  無機重合体  (YH07140R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 誘導 ,  自己組織化 ,  計算機利用 ,  研究