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J-GLOBAL ID：201402253988789990   整理番号：14A0640115

垂直フローリソグラフィー技術における層形状の制御

著者 (7件)： 幅崎昌平 (東大 生産技研) ,  幅崎昌平 (竹内バイオ融合プロジェクト) ,  吉田昭太郎 (東大 生産技研) ,  李源哲 (東大 生産技研) ,  李源哲 (竹内バイオ融合プロジェクト) ,  竹内昌治 (東大 生産技研) ,  竹内昌治 (竹内バイオ融合プロジェクト)
資料名： 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集
巻： 29th  ページ： 57  発行年： 2014年05月22日 
JST資料番号： L4117A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *鉛直流 ,  *チャネル ,  流体素子 ,  パターン形成 ,  微細構造 ,  ナノ粒子 ,  *形状制御 ,  流量制御 ,  マイクロ流体デバイス ,  *マイクロチャネル ,  *サーボ制御
準シソーラス用語： *マイクロ流路 ,  自己組織化リソグラフィ ,  *垂直流動

分類 (4件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  流体動力学一般  (BC02010G) ,  コロイド化学一般  (CB11010C) ,  界面化学一般  (CB12010J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 垂直 ,  フロー ,  リソグラフィー技術 ,  層