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J-GLOBAL ID：201402254910548356   整理番号：14A1308017

超短パルスレーザ微細加工の最適加工条件探索に関する研究

著者 (1件)： 目黒和幸 (岩手県工技セ)
資料名： 天田財団助成研究成果報告書  (Report of Grant-Supported Researches the Amada Foundation)
巻： 27  ページ： 177-182  発行年： 2014年10月 
JST資料番号： J0694A  ISSN： 2434-0723  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,シリコンおよびニッケル基合金(Inconel-600,Hastelloy,C-276,Super-Invar,Invar-42)を対象として,超短パルスレーザによる微細加工実験を行い,最適な加工条件を明らかにした。その結果,1)260fsのパルス幅の加工のほう10psより熱影響が小さい,2)ニッケル基合金の種類にかかわらず最適加工条件は,パルス幅が260fsのときはパルス数が50,フルエンスが1.3J/cm²,10psでのときはパルス数が100,フルエンスが0.64~1.3J/cm²がである,3)非熱加工を実現するためには,パルス幅が短いことと,オーバーラップ・レートを必要以上に上げないことが効果的である,4)フェムト秒レーザは,ピコ秒レーザよりも加工精度および加工速度の向上が期待できる。

シソーラス用語： *ニッケル合金 ,  ケイ素 ,  レーザ応用 ,  *レーザ加工 ,  *微細加工 ,  パルスレーザ ,  加工条件 ,  最適条件 ,  パルス幅 ,  フルエンス ,  熱影響 ,  レーザアブレーション ,  溝加工 ,  レーザ出力 ,  超短パルスレーザ ,  フェムト秒レーザ ,  *金属加工 ,  加工精度
準シソーラス用語： 工作精度 ,  ニッケル基合金 ,  シリコン ,  パルス数

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (7件)：

• B.N. Chichkov et al., Appl. Phys. A 63, (1996) 109.
• C. Momma et al., Opt. Commun. 129, (1996) 134.
• I. Miyamoto, J. Jpn. Laser Proc. Soc. 20 (1) (2013) 1-10.
• A. G. Cullis et al., Phys. Rev. Lett. 49, (1982) 219.
• K. Murakami, J. Plasma Fusion Res. 79 (10), (2003) 1035-1042.

タイトルに関連する用語 (5件)： 短パルスレーザ ,  微細加工 ,  加工条件 ,  探索 ,  研究