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J-GLOBAL ID：201402255030031873   整理番号：14A0689886

Si基板上の高度に(111)配向したLBCO薄膜の成長と物理的性質

Growth and physical properties of highly (111) oriented LBCO thin films on Si substrates

著者 (7件)： HONG Dunhua (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN) ,  GAO Min (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN) ,  ZHANG Yin (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN) ,  ZENG Bo (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN) ,  LIANG Weizheng (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN) ,  WU Bo (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN) ,  LIN Yuan (Univ. Electronic Sci. & Technol. China, Sichuan, CHN)
資料名： Materials Science & Technology Conference and Exhibition  (Materials Science & Technology Conference and Exhibition)
巻： 2013 Vol.4  ページ： 2648-2655  発行年： 2013年 
JST資料番号： E0697C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質SiO₂緩衝層を用い,化学溶液堆積のうち,用いる化学溶液,すなわちランタン前駆体溶液としてEDTA,ポリエチレンイミン,硝酸ランタンを含む水溶液,またBa²⁺及びCo²⁺前駆体溶液としてもほぼ同様の各金属イオンを含む高分子支援堆積法(PAD)で(100)Si基板上に(111)方位の(LaBa)Co₂O_5+δ(LBCO)単結晶薄膜を形成することに成功した。微視組織をXRDで評価したところ,LBCO膜は単相の擬立方晶ペロブスカイト構造であることを示した。表面形態は,薄膜が不均一分布した粗大結晶粒で,幾らかの窪みを有していた。試料中の電子と酸素の輸送特性は膜抵抗の温度依存性を示し,LBCO膜が典型的な半導体的性質を持つことを示した。ガスが空気から100%O₂及びN₂中6%H₂に切り替わるにつれて膜抵抗の劇的変化が起こり,膜が優れた酸素感受性と異常な高速表面変換速度を有することが判明した。このことは,この材料が高感度ガスセンサーと部分酸化反応装置として新たに利用できることを示している。

シソーラス用語： *コバルト酸塩 ,  *バリウム化合物 ,  *ランタン化合物 ,  *薄膜成長 ,  *結晶方位 ,  *物理的性質 ,  *ウエハ【IC】 ,  堆積 ,  バッファ層 ,  非晶質 ,  単結晶 ,  薄膜 ,  結晶構造 ,  立方晶系 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  固体粒子 ,  空洞 ,  輸送現象 ,  物質移動 ,  酸素 ,  抵抗 ,  温度依存性 ,  感受性 ,  ガスセンサ ,  反応器 ,  部分酸化 ,  酸化 ,  金属イオン ,  コバルト化合物 ,  ポリエチレンイミン ,  硝酸塩 ,  硝酸バリウム ,  *溶液成長 ,  ケイ素 ,  半導体薄膜 ,  二酸化ケイ素 ,  脂肪族カルボン酸 ,  アミノカルボン酸
準シソーラス用語： シリカ ,  *ケイ素基板 ,  コバルトイオン ,  *コバルト酸バリウムランタン ,  バリウムイオン ,  ランタンイオン ,  ペロブスカイト構造 ,  *化学溶液堆積 ,  酸素輸送 ,  硝酸コバルト ,  硝酸ランタン ,  粗大粒子 ,  電子輸送 ,  非晶質シリカ ,  表面形態 ,  表面酸化 ,  膜抵抗

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： エチレンジアミン四酢酸

タイトルに関連する用語 (6件)： Si基板 ,  高度 ,  配向 ,  薄膜 ,  成長 ,  物理的性質