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J-GLOBAL ID：201402255289475940   整理番号：14A0305204

マイクロアセンブリを用いた被写界深度の大きな光学系の設計

Design of an optical system with large depth of field using in the micro-assembly

著者 (5件)： LI Rong (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN) ,  CHANG Jun (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN) ,  ZHANG Zhi-jing (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN) ,  YE Xin (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN) ,  ZHENG Hai-jing (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8911  ページ： 89110N.1-89110N.9  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： いわゆるマイクロアセンブリは数μm~数百μmの大きさの上に組立てた部品を指す。マイクロアセンブリ系の研究では,微細構造の非破壊クランプと精密なアラインメント検出が重要である。ミクロンやサブミクロン水準での精密な位置検出は解決すべき共通の問題であるが,マイクロアセンブリの分野では十分に解決されていない。本論文では,波面符号化技術を用いた立体光学顕微鏡がデフォーカス範囲内の物体を鮮明に撮像でき,変調伝達関数(MTF)が零点を持たないことを示した。

シソーラス用語： *組立 ,  結像 ,  焦点深度 ,  *光学系 ,  *符号化 ,  光学顕微鏡 ,  立体画像 ,  光学伝達関数 ,  画像処理 ,  計測器 ,  位置決め ,  位置決め装置
準シソーラス用語： *マイクロアセンブリ ,  *波面符号化 ,  被写界深度

分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： アセンブリ ,  被写界深度 ,  光学系 ,  設計