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J-GLOBAL ID：201402256910086142   整理番号：14A0227435

超塑性ナノ・マイクロ成形加工に関する研究

Research on Superplastic Nano/Micro-forming

著者 (1件)： 早乙女康典 (東北大学金属材料研究所付属研究施設関西センター)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 54  号： 635  ページ： 1033-1037 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属材料を用いたマイクロマシン,ナノデバイス量産を目的として,成形加工用材料として超塑性材料,とくにアモルファス合金の優位性を利用した形状転写加工技術を紹介した。まずナノ・マイクロ成形用材料の現在の問題点とその評価法を概観した。次いで,ナノ・マイクロ超塑性成形用金型創製法を加工形状寸法と加工単位(結晶粒径)との関係で整理した。その上で半導体加工技術と機械加工技術を組合せたハイブリッド加工技術の最適化の必要性を指摘した。更に,上述金型創製法に加えナノ・マイクロ成形用加工装置の試作例を示し,成形特性の把握と支配要因の解析を行って成形加工技術の確立事例を示した。応用例として,モジュール100μmのマイクロ2段歯車,Φ2.4-0.9mmのマイクロギヤードモータの開発事例を示した。またナノインプリント応用例として回折光学素子,次世代超高密度磁気記録媒体(パターンドメディア)を示した。更にマイクロ部品加工のための手のひらサイズのマイクロファクトリーを紹介し,その発展を期待した。マイクロ塑性加工技術はシリコン加工プロセスに比して,設備とプロセスが簡単で高効率量産加工が容易故次世代ナノ・マイクロデバイスの主要な製造技術として期待されている。

シソーラス用語： *塑性加工 ,  *微細加工 ,  *固体素子 ,  ハイブリッド方式 ,  *超塑性加工
準シソーラス用語： アモルファス合金 ,  *マイクロ・ナノデバイス ,  機械加工 ,  *超塑性成形 ,  *超微細加工 ,  半導体加工 ,  評価法

分類 (2件)： 特殊成形  (WC04040W) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (15件)：

• 1) Chou, S.Y., Krauss, P.R., Zhang, W., Guo, L.J. & Zhuang, L. :J. Vac. Sci. Technol., <b>B15</b>(1997),2897-2904.
• 2) Saotome, Y. & Iguchi, N. :Proc. 22nd Japan Congress on Materials Research, <b>22</b>(1979),7-12.
• 3) Bocharov,Y., Kobayashi, S. & Thomsen, E.G. :Trans ASME, <b>B84</b>(1962),491-496.
• 4) 宮川松男:精密工学会誌,52(1986),39-44.
• 5) Saotome, Y. & Inoue, A. :Proc. IEEE 7th Int. Conf. on MEMS, <b>7</b>(1994),343-348.

タイトルに関連する用語 (4件)： 超塑性 ,  マイクロ ,  成形加工 ,  研究