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J-GLOBAL ID：201402257212490728   整理番号：13A1725588

単一源と二重ビーム光路のレーザ並列共焦点計測系の設計

Design of laser parallel confocal measurement system with single source and dual beam paths

著者 (3件)： Yu Qing (Coll. of Mechanical Engineering and Automation,Huaqiao Univ., Xiamen) ,  Yu Xiaofen (School of Instrument Sci. and Opto-electronics Engineering, Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Cui Changcai (Coll. of Mechanical Engineering and Automation,Huaqiao Univ., Xiamen)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 21  号： 2  ページ： 281-286  発行年： 2013年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 従来型レーザ並列共焦点測定系において多重イメージングのTalbot効果を除去するために,本論文では,レーザ並列共焦点測定系にディジタルマイクロミラーデバイス(DMD)を導入し,焦点画像を認識した。光学スプリット系としてDMDを利用することでフレキシブルアレイ光源を実証した。計測系ではTalbot効果が起きなかった。しかし,DMDは有効なスプリッタでなく,スプリット光線を効果的に集めることができない。DMD特性に基づいて,DMDとマイクロレンズアレイ(MLA)を結合して,単一源と二重ビーム光路のレーザ並列共焦点計測系を構築した。このシステムでは,DMDのビーム光路で焦点画像の位置を識別できた。MLAのビーム光路では高い測定精度を達成できた。理論解析と実験から,二種類の光検出経路において焦点画像の位置の差分は約2μmであった。そのうえ,レーザ並列共焦点測定に及ぼすTalbot効果の影響が弱くなった。高精度での並列共焦点測定を達成した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 反射鏡 ,  MEMS ,  *マイクロレンズ ,  結像 ,  光回折 ,  *画像処理 ,  光検出 ,  計測システム ,  干渉顕微鏡 ,  共焦点レーザ顕微鏡 ,  レーザビーム ,  並列処理 ,  *光学顕微鏡法
準シソーラス用語： Talbot効果 ,  ディジタルマイクロミラーデバイス ,  マイクロレンズアレイ ,  レーザー共焦点微分干渉顕微鏡 ,  光路

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 二重ビーム ,  光路 ,  レーザ ,  共焦点 ,  計測系 ,  設計