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J-GLOBAL ID:201402257256748102   整理番号:14A0017986

高範囲加速度計の性能試験

Performance Testing of a High Range Accelerometer
著者 (4件):
資料名:
巻: 26  号:ページ: 834-837  発行年: 2013年 
JST資料番号: C2450A  ISSN: 1004-1699  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
抄録/ポイント:
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一対の二重固定ビームマス構造の高範囲加速度計は,面内の加速度を測定できる。MacheteハンマーとHopkinsonバーを使用して,センサの感度と動的応答を試験する。結果は,センサーの感度が0.126μV/g_n,動作周波数が21.46kHz,動作帯域の動的再現性が3.9%で,実際の要求を満足していることを示す。3軸加速度計,3の独立したマス構造の単一チップ統合に基づくセンサを達成するために,基準データを提供する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
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