抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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焦電結晶は,単位格子内で正負の電荷の重心が一致せず,自発分極する強誘電体である。本研究では,簡易分析用装置としての応用を目的として,焦電結晶を用いて発生した電子線を試料に照射することで発生する特性X線を分析する小型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)を作製した。また電子線を試料に照射することで発生する可視光を分析する小型カソードルミネッセンス(CL)装置を製作した。これらの装置を用いて,微小領域の元素分析および同時元素マッピングを行った。EPMAでは,スポットサイズ300μmの電子線を用いて,直径500μmの領域の元素分析が可能であった。CL装置では,CL現象による可視光発光を利用して広範囲にわたる同時元素マッピングを行うことができた。