文献

J-GLOBAL ID：201402263993276980   整理番号：14A0690672

チタン電極を用いたマイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性

著者 (4件)： 岩渕大行 (東大) ,  松岡成居 (東大) ,  熊田亜紀子 (東大) ,  日高邦彦 (東大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2014  ページ： ROMBUNNO.1-075  発行年： 2014年03月05日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 電極 ,  チタン ,  *絶縁破壊 ,  *MEMS ,  放電 ,  *沿面放電 ,  マイクロギャップ放電
準シソーラス用語： *MEMSデバイス ,  チタン電極

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (5件)： チタン電極 ,  マイクロ ,  ギャップ ,  絶縁 ,  破壊特性