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J-GLOBAL ID：201402266009739604   整理番号：14A1394002

NiOのナノ粒子インクのレーザ還元焼結によるNi電極の真空フリーのマークレスパターニング

Vacuum-Free, Maskless Patterning of Ni Electrodes by Laser Reductive Sintering of NiO Nanoparticle Ink and Its Application to Transparent Conductors

著者 (4件)： LEE Daeho (Gachon Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  PAENG Dongwoo (Univ. California, California, USA) ,  PARK Hee K. (Laser Prismatics LLC, California, USA) ,  GRIGOROPOULOS Costas P. (Univ. California, California, USA)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 8  号： 10  ページ： 9807-9814  発行年： 2014年10月 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気的タッチスクリーンパネルでは,金属薄膜などの電極が利用されている。ポリマー基板上に形成する金属薄膜の機械的性質を向上するために,レーザ還元焼結法について検討した。ポリマー基板上にNiOのナノ粒子インクを噴射し,これにレーザを照射して,NiOを還元することで,Ni電極を形成した。レーザビームを光走査して,マークレスのパターニングを実現した。また,真空が不要で,高解像度のNiのパターンを形成できた。インク溶媒中に還元剤を添加することで,連続波レーザでも容易に還元焼結を実現できた。膜の形態,膜厚,透過率,密着性などを評価した。膜厚は約40nm,透過率は87%以上であった。膜の表面性状は滑らかで,光沢があった。また,曲げ試験,引張試験,超音波浴試験などの結果,ガラスやポリマー基板上の電極の密着性が強固であることが分かった。また,導電率も十分で,フレキシブル基板を利用した電気的タッチスクリーンパネルに利用できる。

シソーラス用語： フレキシブル基板 ,  タッチスクリーン ,  引張試験 ,  レーザビーム ,  *パターン形成 ,  連続レーザ ,  機械的性質 ,  *ナノ粒子 ,  曲げ試験 ,  表面性状 ,  *酸化ニッケル ,  *インク ,  *焼結 ,  *レーザ加熱 ,  還元 ,  ニッケル ,  真空 ,  *金属薄膜 ,  透過率 ,  ナノインク ,  *選択的レーザ焼結 ,  性質 ,  *熱処理 ,  *処理
準シソーラス用語： *レーザ焼結

分類 (4件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： NiO ,  ナノ粒子 ,  インク ,  レーザ ,  還元 ,  焼結 ,  Ni電極 ,  真空