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J-GLOBAL ID：201402266778518025   整理番号：14A0688982

誘導放電におけるプラズマへの移転パワーの測定法

Method for measurement of transferred power to plasma in inductive discharges

著者 (3件)： HWANG Hye-ju ,  KIM Young-cheol ,  CHUNG Chin-wook
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 547  ページ： 9-12  発行年： 2013年11月29日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導結合プラズマにおける,プラズマへの移動パワーを測定する方法を提案した。プラズマがある入力パワーで発生したときの,アンテナ電流をモニタする。移動パワーは,不活性ガスがなくプラズマが遮断したときの同じ電流におけるパワーを,入力パワーに対して差し引くことで求められる。この方法を,種々の入力パワーに対する従来の方法と比較し,良い一致を見た。インピーダンスマッチングネットワークの回路解析についても検討した。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *インピーダンス整合 ,  ネットワーク ,  アンテナ ,  監視 ,  電流 ,  *電力 ,  回路解析 ,  *計測
準シソーラス用語： モニタリング ,  *プラズマ移動パワー

分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導 ,  放電 ,  プラズマ ,  移転 ,  パワー ,  測定法