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J-GLOBAL ID：201402267265755966   整理番号：14A0876433

ガソクロミック効果を持つ多成分酸化物薄膜の特性評価と性質

Characterization and properties of multicomponent oxide thin films with gasochromic effect

著者 (5件)： DOMARADZKI Jaroslaw (Wroclaw Univ. Technol., Wroclaw, POL) ,  BANIEWICZ Kosma (Wroclaw Univ. Technol., Wroclaw, POL) ,  MAZUR Michal (Wroclaw Univ. Technol., Wroclaw, POL) ,  WOJCIESZAK Damian (Wroclaw Univ. Technol., Wroclaw, POL) ,  KACZMAREK Danuta (Wroclaw Univ. Technol., Wroclaw, POL)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8902  ページ： 890223.1-890223.5  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： クロミック物質と呼ばれる外部条件の変化で光学的性質を変化させる物質が注目されている。光学特性の変化は,透過や色の変化により観測できる。外部要因が特定の気体である場合,この効果はガソクロミズムとして知られている。最も良く知られている例は,水素ガスに対する効果である。本研究では,Ti,V,Taを基本としてW,Nbを混合させた酸化混合物薄膜のガソクロミック効果について調べた。反応性マグネトロンスパッタリングにより作製した薄膜の特性を,X線光電子分光,X線回折により調べた。薄膜のガソクロミック効果は,酸化あるいは還元ガス中における透過率測定を用いて調べた。組成とガス濃度に応じて,透過率変化は最大で28%に達した。

シソーラス用語： *酸化物 ,  *薄膜 ,  物質 ,  *ガスセンサ ,  マグネトロンスパッタリング ,  X線光電子分光法 ,  X線回折 ,  透過率
準シソーラス用語： フォトクロミック ,  *酸化物薄膜 ,  *水素センサ ,  反応性マグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： 無機化合物の可視・紫外スペクトル  (BM08084P) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 酸化物薄膜 ,  特性評価 ,  性質