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J-GLOBAL ID：201402267595985437   整理番号：13A1949367

60GHzのパッチアンテナのためのLTCC基板のマイクロマシニング

Micromachining of LTCC substrate for 60 GHz patch antenna

著者 (5件)： Miao Min (Information Microsystem Inst.,Beijing Information Sci. and Technol. Univ., National Key Lab. of Sci. and Technol. on ...) ,  Zhang Xiaoqing (Information Microsystem Inst.,Beijing Information Sci. and Technol. Univ., Beijing) ,  Yao Yating (Information Microsystem Inst.,Beijing Information Sci. and Technol. Univ., Beijing) ,  Mu Fangqing (The 43th Res. Inst. of China Electronic Technol. Group Corp., Hefei) ,  Hu Duwei (National Key Lab. of Sci. and Technol. on Micro/Nano Fabrication,Peking Univ., Beijing)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 21  号： 6  ページ： 1447-1451,1453-1455  発行年： 2013年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 60ギガヘルツパッチアンテナの放射波帯域幅を効果的に強化するために,低温コバルト燃焼セラミック(LTCC)基板のためのマイクロマシニング加工することを,提案した。基板の固有グリーンテープ層を,それから犠牲材料で満たされた,突き通された構造を形成するために,ミクロ粉砕した。その後,個体層を積み重ねて,三次元(3D)微細構造を形成するために,焼結した。カンチレバー,囲んでいる枠組みと,埋め込まれたマイクロチャネルを,加工の効率を確かめるために作製した。アンテナ設計の電気的性質を,全波解析によって検証した。更に,冷却回路の効率を,実験的にテストした。提案した加工が,いろいろな軸での縮約速度の変化と,埋め込まれた空洞の崩壊のような問題を,解決することを,実験は示した。三次元骨組,カンチレバーと,埋め込まれたマイクロ流体構造を,4:1の高さに等しい最大アスペクト比と,1.4mm(14層)の総厚みを持って,作製した。マイクロチャネルの断面積サイズは,200μm×200μmと等しい大きさで,その最大長が2.5cmを越えるほどであった。滑らかな内壁により,滑らかなマイクロ流体流動は,2W/cm2の加熱電力密度を持つ,集積電力装置のために,40Kを超える冷却効果を,提供するかもしれない。シミュレーションした放射パターンは,2.7ギガヘルツから5.3ギガヘルツまでの,放射波帯域幅の二倍の増加を示して,少しの利得損失を持っていた。単純で低コストマイクロマシニングが,新たな経費なしで,パッチアンテナの放射波帯域幅を,効果的に強化するかもしれないことを,これらの結果は実証した。そしてそれは,有効電力デバイスによる,大型かつ高集積送信/受信配列の設計と実装に有益である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  パッチアンテナ ,  基板 ,  シミュレーション ,  チャネル ,  薄板 ,  半導体素子 ,  アスペクト比 ,  片持梁 ,  流体 ,  アンテナ設計 ,  放射パターン ,  電気的性質 ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： LTCC基板 ,  グリーンテープ ,  電力デバイス ,  カンチレバー ,  マイクロ流体

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： パッチアンテナ ,  LTCC基板 ,  マイクロマシニング