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J-GLOBAL ID：201402268601912168   整理番号：14A0555628

エアロゾル支援CVDで直接集積した酸化タングステンナノニードルに基づく微細加工ガスセンサ

Micromachined gas sensors based on tungsten oxide nanoneedles directly integrated via aerosol assisted CVD

著者 (10件)： STOYCHEVA T. (MINOS-EMaS, Departament d′Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virgili, Paiesos Catalans 26, 43007 Tarragona, ESP) ,  STOYCHEVA T. (Laboratorio MDM, IMM-CNR, Unita di Agrate Brianza, Via C. Olivetti 2, 20864 Agrate Brianza, MB, ITA) ,  ANNANOUCH F.e. (MINOS-EMaS, Departament d′Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virgili, Paiesos Catalans 26, 43007 Tarragona, ESP) ,  GRACIA I. (Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC) Campus UAB, 08193 Barcelona, ESP) ,  LLOBET E. (MINOS-EMaS, Departament d′Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virgili, Paiesos Catalans 26, 43007 Tarragona, ESP) ,  BLACKMAN C. (Dep. of Chemistry, Univ. Coll. London, 20 Gordon Street, WC1H 0AJ London, GBR) ,  CORREIG X. (MINOS-EMaS, Departament d′Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virgili, Paiesos Catalans 26, 43007 Tarragona, ESP) ,  VALLEJOS S. (MINOS-EMaS, Departament d′Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virgili, Paiesos Catalans 26, 43007 Tarragona, ESP) ,  VALLEJOS S. (Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC) Campus UAB, 08193 Barcelona, ESP) ,  VALLEJOS S. (Dep. of Chemistry, Univ. Coll. London, 20 Gordon Street, WC1H 0AJ London, GBR)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 198  ページ： 210-218  発行年： 2014年07月31日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多結晶膜,無配向及び擬配向ナノニードル(NNs)膜形態の酸化タングステンナノ構造(NSs)に基づく微細加工ガスセンサをエアロゾル支援化学蒸着(AACVD)を使用した種々のマイクロシステム技術工程の集積により製作した。NO₂,H₂,EtOH,H₂S,CO,C₆H₆を含む種々の分析種に対するこれらの構造の性能を測定して多結晶と対照的なNNsから成る膜に基づくガスセンサの増強された検出特性を示し,非配向NNs膜が最大のセンサ応答を表すことを示した。センサ応答に対するNNs直径の著しい寄与を認め,特に25から50nmの間の直径のNNsから成るセンサが著しかった。加えて,NNs配置や電極幾何構造などの作製変数はセンサ応答に対するこれらの寄与が表面における気体分析種の効果,すなわち分析種が還元剤または酸化剤として作用するかどうかに関係があることを示唆していた。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *酸化タングステン ,  ナノ構造 ,  エアロゾル ,  化学蒸着 ,  蒸着 ,  薄膜 ,  配向 ,  マイクロマシニング ,  微細構造 ,  結晶構造 ,  電子顕微鏡観察 ,  X線回折分析 ,  *電気抵抗 ,  応答特性 ,  温度依存性 ,  定量分析 ,  二酸化窒素 ,  水素 ,  硫化水素 ,  一酸化炭素 ,  *電気化学センサ ,  脂肪族アルコール ,  芳香族炭化水素
準シソーラス用語： エアロゾルデポジション ,  ナノニードル ,  マイクロセンサ ,  走査電子顕微鏡法 ,  多結晶薄膜 ,  透過型電子顕微鏡法

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  電気分析一般  (CC05010C)

物質索引 (2件)： エタノール ,  ベンゼン

タイトルに関連する用語 (8件)： エアロゾル ,  支援 ,  CVD ,  集積 ,  酸化タングステン ,  ナノニードル ,  微細加工 ,  ガスセンサ