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J-GLOBAL ID：201402268732986558   整理番号：14A0904259

PFP凝縮性ガスを用いたナノインプリントリソグラフィーにおけるブレークスルー達成

Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas

著者 (8件)： MATSUI Shinji (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  HIROSHIMA Hiroshi (National Inst. of Advanced Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  HIRAI Yoshihiko (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUI Shinji (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HIROSHIMA Hiroshi (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HIRAI Yoshihiko (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 27  号： 1  ページ： 61-72  発行年： 2014年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： UVナノインプリントリソグラフィーにおける雰囲気として用いた凝縮性ガスの有効性を示した。非真空雰囲気下のUVリソグラフィーに内在する気泡欠陥問題が1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパン(PFP)凝縮性ガスにより解決できた。PFPを用いたUVナノインプリントリソグラフィーは薄い残存層条件下の45nmパターン製造に対して実証された。その残存層条件はUVナノインプリントリソグラフィーとして用いられるUVナノインプリント向けに必要であった。PFPはUV硬化性樹脂の粘度と離型力を低減させた。それら特性はUVナノインプリントのスループットと信頼性の増加に役立った。PFPはときにはUV硬化性樹脂に依存して大収縮を引起して,パターン品質を低下させた。それらの欠点は低PFP吸着性のUV硬化性単量体を選択することにより低減できた。最後に,PFPを用いたUVナノインプリントにより22nmNANDフラッシュメモリにおいて要求されるLER及びLWR値を満たして,1つの鋳型で20000繰返しインプリントの達成を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *パターン形成 ,  性質 ,  光重合型樹脂 ,  紫外線照射 ,  光架橋 ,  鋳型重合 ,  表面粗さ ,  粘度 ,  *脂肪族フッ素化合物 ,  プロセスシミュレーション ,  スループット ,  気体 ,  溶解度パラメータ ,  フォトレジスト ,  フロン ,  紫外線硬化樹脂 ,  係数 ,  輸送係数 ,  度 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： *UVナノインプリントリソグラフィー ,  UV硬化性樹脂 ,  *ナノパターン形成 ,  ラインエッジ粗さ ,  凝縮性ガス ,  高スループット ,  線幅粗さ ,  離型性

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： 1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパン

引用文献 (60件)：

• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett., 67 (1995) 3114.
• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Science, 272 (1996) 85.
• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, J. Vac. Sci. Technol., B14 (1996) 4129.
• J. Haisma, M. Verheijen, K. van den Heuvel, and J. van den Berg, J. Vac. Sci. Technol., B14 (1996) 4124.
• M. Colburn S. Johnson, M. Stewart, S. damle, T. Bailey, B. Choi, M. Wedlake, T. Michaelson, S. V. Sreenivasan, J. Ekerdt, and C. G. Willson, Proc. SPIE, 3676 (1999) 379.

タイトルに関連する用語 (3件)： 凝縮性ガス ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  ブレークスルー