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J-GLOBAL ID：201402268909650016   整理番号：14A0107926

RFマグネトロンスパッタリングによって調製した炭素タングステン同時蒸着層における重水素保持

Deuterium retention in carbon-tungsten co-deposition layers prepared by RF magnetron sputtering

著者 (4件)： Zhang Wenzhao (Applied Ion Beam Physics Lab., Inst. of Modern Physics, Dep. of Nuclear Sci. and Technol., Fudan Univ., Shanghai) ,  Tang Xinghua (Applied Ion Beam Physics Lab., Inst. of Modern Physics, Dep. of Nuclear Sci. and Technol., Fudan Univ., Shanghai) ,  Li Jiaqing (Applied Ion Beam Physics Lab., Inst. of Modern Physics, Dep. of Nuclear Sci. and Technol., Fudan Univ., Shanghai) ,  Shi Liqun (Applied Ion Beam Physics Lab., Inst. of Modern Physics, Dep. of Nuclear Sci. and Technol., Fudan Univ., Shanghai)
資料名： Wuli Xuebao  (Wuli Xuebao)
巻： 62  号： 19  ページ： 195202-1-195202-6  発行年： 2013年 
JST資料番号： B0628A  ISSN： 1000-3290  CODEN： WLHPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高周波マグネトロンスパッタリングで調製したC-W同時蒸着層を調査して,核融合実験炉のC-W混合層の特性を特定した。イオンビーム解析(IBA),Ramanスペクトル(RS),および走査電子顕微鏡観察(SEM)によって層を特徴付けた。C-W層におけるD原子が主にC原子のトラッピングサイトによって捕らえられ,それらのほんのいくつかはW原子か欠陥によって捕らえられることがわかった。固定流速比率QD2/QAr=2.5で5.0Paに蒸着されたC-W層におけるD濃度は10%より低く,温度上昇に従ってわずかに減少した。D濃度は,0~5Paの気体圧力で増加して,次に,5Paから10Paまで減少した。RSは,C-W層の結晶構造が温度上昇でグラファイトのようになったことを明らかにした。SEM画像は空洞が消えたことを示し,温度が増加すると凸体は表面に点を打った。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *タングステン ,  同時蒸着 ,  重水素 ,  *炭素 ,  Ramanスペクトル ,  電子顕微鏡観察 ,  核反応分析 ,  グラファイト ,  画像 ,  圧力 ,  昇温
準シソーラス用語： *RFマグネトロンスパッタリング ,  高周波マグネトロンスパッタリング ,  走査電子顕微鏡観察 ,  イオンビーム解析 ,  トラッピング ,  核融合実験炉 ,  SEM画像 ,  気体圧力 ,  特徴付け ,  温度上昇 ,  流速比 ,  サイト

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  調製 ,  炭素 ,  タングステン ,  同時蒸着 ,  重水素保持