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J-GLOBAL ID:201402268945855880   整理番号:13A1909383

キシレンガス検出のためのFe_2O_3-In_2O_3化合物薄膜光導波路センサー

Fe_2O_3-In_2O_3 Composite Thin Film Optical Waveguide Sensor for Xylene Gas Detection
著者 (2件):
資料名:
巻: 26  号:ページ: 462-466  発行年: 2013年 
JST資料番号: C2450A  ISSN: 1004-1699  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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この論文は,Fe_2O_3-In_2O_3化合物薄膜/スズ拡散ガラス光導波路センサーのガス感受性を研究した。その感受性部を,ゾルゲル法によって合成した。そのセンサーを,スズドープガラス光導波路上に,Fe_2O_3-In_2O_3薄膜をコーティングすることによって,製作した。光導波路感受性要素を固定して,ガスセンサーシステムを構築し,ガスの揮発性有機化合物(VOCs)を検出する。その結果は,Fe_2O_3-In_2O_3化合物薄膜/スズ拡散ガラス光導波路センサーが,室温で高い感度を示し,その検出範囲は,1X10-(-3)~1X10-(-5)(体積率)であった。それは,キシレン蒸気の1X10-(-5)(V/V)に対して顕著に反応し,その反応と復帰時間は短かった(それぞれ5sと20s)。薄膜光センサを容易に製作して,それには,短い応答時間,高感度,及び良好な可逆性を有した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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計測機器一般 
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