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J-GLOBAL ID：201402268984837229   整理番号：14A1315874

楕円振動切削で振幅制御彫刻法による超精密ナノ構造の製作

Ultra-precision nano-structure fabrication by amplitude control sculpturing method in elliptical vibration cutting

著者 (4件)： ZHANG Jianguo ,  SUZUKI Norikazu ,  WANG Yilong ,  SHAMOTO Eiji
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 39  ページ： 86-99  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,焼入鋼上のナノ構造製作について,超精密振幅制御彫刻方式を装備した楕円振動切削を検討した。振幅制御彫刻法の加工性能を調査し,ナノスケール加工の限界を調査した。この提案方法では,機械加工部品の形状は,特に振動条件と工具形状に制約される。さらに,加工部品形状の勾配が急になったとき,振幅コマンドと工具経路の包絡線の間にかなりの誤差が発生する。この誤差を解決するため,振幅制御コマンドの補償方法を提案した。提案された技術の加工性能を明確にするために,一連の分析的および実験的研究が行われた。さらに,提案されたコマンド補償方法を適用することで,構造高さと波長の比が大きいナノ構造を正確に機械加工することができる。提案する彫刻法を,その後,ナノテクスチャの溝の加工および三次元格子表面の加工に適用し,提案する振幅制御彫刻法の実現可能性を検証した。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 振動切削 ,  *ナノメータ加工 ,  *焼入鋼 ,  工具経路 ,  表層構造 ,  *楕円振動切削
準シソーラス用語： ナノ加工

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 楕円振動切削 ,  振幅制御 ,  彫刻 ,  超精密 ,  ナノ構造 ,  製作