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J-GLOBAL ID：201402269537966182   整理番号：14A0128749

次世代電磁力応用機器の開発技術 IV 半導体搬送用高速・高精度リニアモータの開発

Development of a High Performance Linear Synchronous Motor for Improvement of Processing Capacity of Semiconductor Process Equipment

著者 (3件)： 碇賀厚 (大分大 工) ,  後藤旭 (石井工作研) ,  岡本卓也 (石井工作研)
資料名： 日本AEM学会誌  (Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics)
巻： 21  号： 4  ページ： 536-541  発行年： 2013年12月10日 
JST資料番号： L2703A  ISSN： 0919-4452  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造装置の搬送システムに採用されている直動機構の大半は,ボールねじと回転モータの組み合わせであるが,速度や変速に限界があり,ダイレクト駆動が可能なリニアモータの適用が考えられている。リニアモータの小型・高出力化設計にはエネルギー密度を向上させることが必要であり,筆者らは高エネルギー電磁材料の特性を有効活用し,磁束集束形永久磁石(CSPM)配列を適用した小型・高推力のリニアモータの開発を進めている。本稿では,実用化の課題,および磁性体付きCSPM配列について3次元磁界解析を適用して付加した磁性体の効果を示し,試作機の特性評価について報告する。

シソーラス用語： 利用 ,  装置 ,  *技術開発 ,  *移送装置 ,  高速度 ,  精度 ,  *リニアモータ ,  エネルギー密度 ,  配列 ,  電磁場解析
準シソーラス用語： 高精度 ,  *次世代 ,  磁界解析 ,  磁束集束形永久磁石 ,  *電磁力応用 ,  *半導体製造装置

分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

引用文献 (4件)：

• [1] 碇賀厚, 後藤旭, 岡本卓也, 槌田雄二, 戸高孝, 榎園正人, 磁束集束型永久磁石配列を適用したリニアモータの特性解析,日本AEM学会誌, Vol. 18, No. 4, pp. 317-322, 2010.
• [2] 村上宗司, 大戸基道, 矢原春樹, 渡邉宏, 塩月博, 下地広泰, 戸高孝, 磁束集束配列型高トルク産業用モータの開発,日本AEM学会誌, Vol. 19, No. 4, pp. 613-618, 2011.
• [3] A. Ikariga, A. Goto, T. Okamoto, T. Todaka, M. Enokizono, Development of a High-Density Linear Synchronous Motor, Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics, Vol. 20, No. 2, pp. 325-330, 2012.
• [4] I.-S. Jung, J. Hur, D.-S. Hyun, Performance Analysis of Skewed PM Linear Synchronous Motor According to Various Design Parameter, IEEE Transactions on Magnetics, Vol. 37, No. 5, pp. 3653-3657, 2001.

タイトルに関連する用語 (4件)： 次世代 ,  電磁力応用 ,  開発 ,  リニアモータ