文献

J-GLOBAL ID：201402269638681731   整理番号：14A0536556

レーザ表面加熱を用いた微細構造のロール熱ナノインプリント技術の開発~第2報 パワー密度が転写性に与える影響~

著者 (6件)： 高橋賢 (東大) ,  長藤圭介 (東大) ,  王家林 (東大) ,  佐藤淑美 (東大) ,  濱口哲也 (東大) ,  中尾政之 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.L34  発行年： 2014年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究は,レーザ表面加熱を用いたロール熱ナノインプリント技術の開発を目的とする。ロール熱ナノインプリントで高い転写性を得るには,金型と樹脂の接触中に加熱,充填,冷却のプロセスを行う必要がある。金型全体を加熱する従来の方法に対し,本方式では局所的に加熱できるため,熱伝達により金型と樹脂の接触中に冷却が行われると考えられる。レーザパワー密度と転写率の関係から,パワー密度が転写性に与える影響を考察する。(著者抄録)

シソーラス用語： *レーザ加熱 ,  *微細構造 ,  *押付成形 ,  エネルギー密度 ,  成形性 ,  微細加工 ,  パターン転写 ,  ロール ,  数値解析 ,  重合体
準シソーラス用語： パワー密度 ,  局所加熱 ,  *熱ナノインプリント ,  熱伝導解析 ,  転写性 ,  樹脂

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ ,  微細構造 ,  ロール ,  熱ナノインプリント ,  開発 ,  パワー密度 ,  転写性