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J-GLOBAL ID：201402272903910650   整理番号：14A0225985

歪分布により独自に決定した非対称Bragg反射のロッキングカーブピーク強度挙動

Behavior of Peak Intensity of Rocking Curve for Asymmetric Bragg Reflection Uniquely Determined by Strain Distribution

著者 (1件)： EMOTO Takashi (Dep. of Physics, Toyota National Coll. of Technol., JPN)
資料名： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)  (e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻： 11  ページ： 127-132 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： U0016A  ISSN： 1348-0391  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極端に非対称なX線回折は,結晶表面近くの微小歪観察用の強力な方法である。本研究では,ロッキングカーブのピーク強度に商店を当て,動的回折計算を利用し,X線波長の面から,ピーク強度変化を研究した。結晶深さ方向に沿った単軸歪を仮定した計算から,X線全反射が増強される臨界値(臨界波長λc)以下で短くなるので,ピーク強度は歪に対しより高感度に成ることが分った。歪んだ結晶のピーク強度 対 波長のプロファイルを未歪結晶のものと比較する時,圧縮歪や引張歪の導入が強度の増強や減少を生じさせることは明らかである。歪結晶のピーク強度 対 波長プロファイルから未歪結晶のものの減算により生成した差スペクトルは,歪パラメータ,最大歪値ε0,歪層厚Hの面から,体系的変化を示した。ロッキングカーブが特徴を示さない時,ロッキングカーブ利用よりも差スペクトル当てはめにより,歪をより迅速,容易に評価できることが予想された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ロッキングカーブ ,  *X線回折 ,  X線構造解析 ,  非対称性 ,  Bragg反射 ,  強度 ,  *歪 ,  数値 ,  波長 ,  全反射 ,  臨界定数 ,  差スペクトル ,  層厚 ,  *表面分析 ,  格子歪 ,  ピーク強度 ,  圧縮歪 ,  引張歪 ,  計算値 ,  *微小歪 ,  X線結晶構造解析
準シソーラス用語： X線結晶解析 ,  臨界値

分類 (2件)： X線回折法  (BK01020I) ,  格子欠陥の観察・実験技術  (BK12020U)

引用文献 (15件)：

• [1] K. Usuda, T. Numata, and S. Takagi, Mater. Sci. Semicond. Process. 8, 155 (2005).
• [2] N. Nakanishi, H. Arie, Y. Kunimune, T. Ide, Y. Hirose, N. Hattori, and T. Koyama, J. Appl. Phys. 112, 043518 (2012).
• [3] A. Béché, J. L. Rouvière, J. P. Barnes, and D. Cooper, Ultramicroscopy 111, 227 (2011).
• [4] Y. Tanaka, Y. Uozaki, K. Nozaki, K. Ito, K. Yamasaki, H. Terauchi, I. Takahashi, K. Tahara, and T. Ishikawa, J. Phys.: Conf. Series 278, 012018 (2011).
• [5] G. Lulli, M. Bianconi, A. Parisini, S. Sama, and M. Servidori, J. Appl. Phys. 88, 3993 (2000).

タイトルに関連する用語 (6件)： 歪分布 ,  非対称 ,  Bragg反射 ,  ロッキングカーブ ,  ピーク強度 ,  挙動