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J-GLOBAL ID：201402272969246564   整理番号：14A1033133

ZnOナノ粒子によるフレキシブル基板上のオゾンセンサ

Ozone Sensor on Flexible Substrate by ZnO nanoparticles

著者 (3件)： ACUAUTLA Monica (Aix-Marseille Univ., Marseille, FRA) ,  BERNARDINI Sandrine (Aix-Marseille Univ., Marseille, FRA) ,  BENDAHAN Marc (Aix-Marseille Univ., Marseille, FRA)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 605  ページ： 163-166  発行年： 2014年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリイミドカプトン基板上にZnOをドロップコーティングした後300°Cでアニールして厚さ200nmの薄膜を調製した。このZnO膜に白金電極をくし状に設置してオゾンセンサを構成した。このセンサのオゾン検出の性能試験を種々の温度でオゾン濃度を5ppbから500ppbに変化させて行った。最高の性能はセンサ温度が200°Cの時に得られ,センサはオゾン検出に対して良好な応答性能と再現性を示した。これらの実験結果から,本研究で開発したZnOセンサは簡便で低コストのオゾンセンサとして,有望な候補であることを結論した。

シソーラス用語： *PMDA-ODA ,  *酸化亜鉛 ,  *オゾン ,  *ガスセンサ ,  *白金電極 ,  ナノ粒子 ,  電気抵抗

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (3件)： ZnOナノ粒子 ,  フレキシブル基板 ,  オゾン