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J-GLOBAL ID：201402273127768283   整理番号：14A1389803

カーボンナノチューブを用いたナノセンサ

著者 (2件)： 夏木俊明 (信州大 繊維) ,  夏木俊明 (信州大 先鋭領域融合研究群 カーボン科研)
資料名： 機械の研究  (Science of Machine)
巻： 66  号： 12  ページ： 1011-1017  発行年： 2014年12月01日 
JST資料番号： F0147A  ISSN： 0368-5713  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カーボンナノチューブ(CNT)は自然界で発見された物質の中で最も高い弾性率(約1TPa)と高通電容量(10⁹A/cm²以上)を持っており,次世代のナノ電気機械システム(NEMS)への応用が考えられている。本報では,CNTを用いたナノ質量センサおよび原子間力顕微鏡(AFM)のセンサ用探針の設計に注目し,CNTを用いたナノセンサの構造を理論的に解析するモデルおよび解析手法について解説する。微量な質量を計測するために使用される共振型ナノ質量センサは,非常に小さな平板の両端を固定し,高振動周波数で振動させることで,平板に接触させた付加質量による共振周波数の変化を測定するものである。本センサ装置システムの概要と解析モデルについて述べる。次に,2層構造を有するCNTを走査型プローブ顕微鏡の探針に使用する際の機械特性について,連続体力学理論に基づく解析と評価について紹介する。

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  *センサ ,  *質量 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *プローブ ,  梁 ,  共振周波数 ,  解析モデル ,  振動 ,  連続体力学 ,  マイクロセンサ ,  振動特性 ,  質量計測
準シソーラス用語： *ナノ質量センサ ,  質量測定

分類 (2件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： カーボンナノチューブ ,  ナノセンサ