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J-GLOBAL ID：201402275087562663   整理番号：14A0657092

表面改質用の多孔質エミッターを備えたイオン液体イオン源の開発

Development of ionic liquid ion source with porous emitter for surface modification

著者 (4件)： TAKEUCHI Mitsuaki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HAMAGUCHI Takuya (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  RYUTO Hiromichi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKAOKA Gikan H. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 315  ページ： 345-349  発行年： 2013年11月15日 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 表面改質 ,  多孔質 ,  エミッター ,  イオン液体 ,  イオン源 ,  開発